Integrati Circuit Factory Scale 909 Proiectum majoris molis industriae patriae meae electronicarum per Nonum Five-Annum Plan ad producendum chips cum linea latitudine 0,18 microns et diametri 200 mm.
Technologiae fabricandae technologiae permagnae ambitus integrales non solum technologias altas praecisiones involvit quales micromachinas, sed etiam altas exigentias in munditia gasi ponit.
Moles gasi instrumenti ad Project 909 providetur a venture communi inter Praxair Utilitatem Gas Co., Ltd. Americae Foederatae et partes in Shanghai pertinentes ut productionem plantae gasi coniunctim constituant. Plantae productionis gasi ad 909 fabrica fabricae adiacent. aedificium, area circiter 15,000 metra quadrata. Puritas et output exigentias variorum gasorum
Summus puritas nitrogenii (PN2), nitrogenii (N2), et summus puritatis oxygenii (PO2) fiunt ab aeris separatione. Summus puritas hydrogenii (PH2) ab electrolysi producit. Argon (Ar) et belium (ille) emuntur outsourced. Quasi-gas purgatur et eliquatur ad usum in Project 909. Gas speciale in utribus praebetur, et scrinium gas utrem in officina auxiliari collocatur in gyro productionis plantae integrae.
Alios etiam vapores mundis siccis aëris compressis CDA systematis includunt, cum usu voluminis 4185m3/h, punctum ros -70°C pressionis, et particulam quantitatem non amplius quam 0.01um in gas in puncto usus. Spirandi aerem compressum (BA) systema, usus volumen 90m3/h, pressio roris punctum 2℃, magnitudo particula in gas in puncto usus non maior quam 0.3um, processus vacuum (PV) systematis, usus voluminis 582m3/h; gradum vacuum in puncto usu -79993Pa. Purgatio vacuum (HV) systematis, usus voluminis 1440m3/h, gradum vacuum ad usum punctum -59995 Pa. Aer compressor locus et locus sentinae vacuum ambo in area fabricae fabricae 909 positae sunt.
Electio materiae organi et accessiones
Gas in VLSI productione usus summae munditiae est requisita.Summus puritas gas pipelinessolent in ambitus productionis munditiae adhiberi, earumque munditiae temperantia consentaneum sit vel altiorem quam munditiae gradum in usu esse! Praeterea summus castitas gasi pipelines saepe in ambitus productionis mundis adhibetur. Purus hydrogenii (PH2), summus puritatis oxygenii (PO2) et quidam speciales vapores sunt vapores flammabiles, explosivi, combustionis vel toxici vapores. Si systema gas pipeline improprie designatum est vel materias inepte electae sunt, non solum puritas gasi usus in puncto gasi decrementi erit, sed etiam deficiet. Processus requisitis occurrit, sed tutum est uti et pollutio ad officinas mundas facient, salutem et munditiam afficiens officinam mundi.
Sponsio qualitatis summus puritatis gasi in puncto usus non solum dependet a subtilitate productionis, purificationis, instrumentorum et odiorum, sed etiam afficitur magna ex parte a multis causis in systematis pipelini. Si nitimur instrumento productionis gasi, purgationis instrumento et odio. Simpliciter non est falsa imponere subtilitatem maiorem infinite requisita ad satisfaciendum improprio fumantiae gasi systematis designationis vel materialis lectionis.
In consilio processu 909 propositi, secuti sumus "Codex pro Design Plantarum mundarum" GBJ73-84 (vexillum currentis est (GB50073-2001)), "Codex ad Design stationes aeris compressi" GBJ29-90, "Codex pro Design stationes Oxygenarum" GB50030-91, "Codex pro Design Hydrogenis et Oxygenis stationum" GB50177-93, et mensuras technicas ad delectu materiarum pipelinearum et accessiones pertinentes. "Codex ad Design plantarum mundarum" delectu materiarum pipelinearum et valvularum hoc modo:
(1) Si felis puritas maior quam vel aequalis 99,999% et punctum ros inferius est quam -76°C, 00Cr17Ni12Mo2Ti humilior carbonis fistulae chalybis incorrupta (316L) cum parietis interioris electropolitis vel OCr18Ni9 fistulae chalybis immaculatae (304) cum utendum est pariete interiore electropolished. Valvula diaphragmatis valvae vel follis valvae esse debet.
(2) Si felis puritas maior est quam vel aequalis 99,99% et punctum ros humilius est quam -60°C, OCr18Ni9 tubus chalybis immaculatus (304) cum muri interiore electropolitis utendum est. Praeter valvulas folles quae pro tibicinis gasi combustibilibus adhibeantur, valvulae pilae aliis organis gasis adhibendae sunt.
(3) Si punctum ros aridae aeris compressi humilius est quam -70°C, OCr18Ni9 fistulae ferreae immaculatae (304) parieti interiori polito utendum est. Si punctum ros inferius est quam -40℃, OCr18Ni9 fistulae ferreae immaculatae (304) vel calido-intinge galvanized inconsutilem ferreum fistulam utendum est. Plectrum follis valvae vel pilae valvae esse debet.
(4) Materia valvae componi debet cum materia organi connectens.
Secundum exigentias specificationum et mensurarum technicarum pertinentes, maxime consideramus sequentes aspectus cum materiae pipelines selectae:
(1) Aer permeabilitas materiae tibiae parvae esse debent. Fistularum diversarum materiarum diversae aeris permeabilitatis habent. Si fistulae maiore aere permeabilitatis seligantur, inquinatio amoveri non potest. Fistulae ferreae immaculatae et fistulae aeris meliores sunt ad impediendam penetrationem et corrosionem oxygenii in atmosphaera. Sed cum fistulae chalybs incorrupta minus agiliores sint quam fistulae aeris, fistulae aeris magis valent ad permittens humorem in atmosphaera in interiores eorum superficies penetrare. Cum igitur eligendo fistulas ad summos castitatis gas pipelines, incorrupta ferrea fistularum prima electio debet esse.
(2) Intus superficies organi materiae adsorbetur et parvum effectum habet in resolvendo gasi. Post fistulam ferri immaculatam discursum, quaedam gasi in cancello metallo retinebitur. Cum gas puritatem summus transierit, haec pars gasi aerem fluens et pollutio causat. Eodem tempore, propter adsorptionem et analysim, metallum in superficie interiore organi etiam quantitatem pulveris efficiet, quod pollutionem ad summum gasi puritatis causat. Ut systemata limbis cum puritate supra 99,999% vel gradu ppb, 00Cr17Ni12Mo2Ti humilis fistulae ferri carbonii incorruptae (316L) adhibeatur.
(3) Vestis resistentia tibiae ferro immaculatae melior est quam fistulae aeris, et pulvis metalli exesus ex aere fluens est relative minor. Productio officinae cum altioribus requisitis ad munditiem uti potest 00Cr17Ni12Mo2Ti fistulae ferri carbonis incorruptae (316L) vel OCr18Ni9 fistulae ferri inactae (304), tibiae aeris non adhibeantur.
(4) Pro limbis systematibus gas puritatis supra 99,999% vel ppb vel ppt gradus, vel in cubiculis mundis cum munditia aeris graduum N1-N6 specificatorum in "Desitionis Factory Design Code", ultra-mundanae tibiae velEP ultra - tibiae mundaeutendum est. Tersus "tubus munda cum superficie interiore ultra-lenis".
(5) Quaedam specialia systemata gasi pipelineorum in processu productionis adhibenda sunt vapores valde corrosivi. Fisulae in his systematis pipelineis uti debent ut tibiae ferreae incorruptae obsistentes repugnant tibiae. Alioquin ex corrosione fistulae laedantur. Si maculae corrosio in superficie occurrat, non adhibeantur tibiae ferrariae inconsutiles vel galvanizatae ferrariae iunctae.
(6) Principio, omnes nexus pipelineorum gas iuncta esse debent. Cum glutino tibiae galvanizatae chalybem galvanizatam destruet, fistulae chalybeae galvanizatae pro fistulis in cubiculis mundis non adhibentur.
Quibus rebus perpensis, gasi fistulae pipelines et valvulae in project&7& selectae sunt hae:
Summus puritatis nitrogenium (PN2) systematis fistulae e 00Cr17Ni12Mo2Ti factae fistulae carbonis low-carbonis in muris interioribus electropolitis (316L) et valvulae folles chalybeis sine macula valvulae eiusdem materiae fiunt.
Nitrogenium (N2) systematis fistulae e 00Cr17Ni12Mo2Ti low-carbolum incorruptum fistulae ferri (316L) cum muris interioribus electropolitis factae sunt, et valvulae folles chalybeis sine macula valvulae eiusdem materiae fiunt.
Summus puritatis hydrogenii (PH2) systematis fistulae e 00Cr17Ni12Mo2Ti low-carbonis incorrupta fistulae ferro (316L) cum parietibus interioribus electropolitis factae sunt, et valvulae folles chalybeis incorruptae fiunt valvulae eiusdem materiae.
Summus oxygenii puritatis (PO2) systematis fistulae e 00Cr17Ni12Mo2Ti factae sunt fistulae demissae carbonis incorruptae fistulae ferri (316L) cum muris interioribus electro-politis, et valvulae folles chalybeae incorruptae fiunt valvulae eiusdem materiae.
Argon (Ar) systematis fistulae e 00Cr17Ni12Mo2Ti low-carbonum ferro immaculatum (316L) cum muris interioribus electropolitis fabricatum, et folles valvulae chalybis immaculatae eiusdem materiae adhibentur.
Belium systematis fistulae e 00Cr17Ni12Mo2Ti factae sunt fistulae carbonis ignobilis ferro incorruptae (316L) cum muris interioribus electropolitis, et valvulae folles valvulae chalybis immaculatae fiunt eiusdem materiae.
Mundus siccus compressus aeris (CDA) systematis fistulae e OCr18Ni9 tibiae ferreae immaculatae (304) muris interioribus politis, fiunt valvulae folles valvulae chalybis immaculatae eiusdem materiae.
Spirandi aeris compressi (BA) fistulae systematis OCr18Ni9 tibiae ferreae immaculatae fiunt (304) cum muris interioribus politis, et valvae fiunt valvulae globulus chalybis immaculatae eiusdem materiae.
Processus vacuum (PV) systematis fistularum e fistulis UPVC fiunt, et valvae vacui fiunt valvulae papilionis eiusdem materiae factae.
Purgatio vacuum (HV) systematis fistulae e fistulis UPVC factae, et valvae vacui fiunt valvulae papilionis eiusdem materiae factae.
Fisae systematis gasi specialis omnes fiunt ex 00Cr17Ni12Mo2Ti fistulae ferri low-carbo incorruptae (316L) cum muris interioribus electropolitis et valvulae folles chalybeis sine macula valvulae eiusdem materiae fiunt.
3 Constructionem et institutionem pipelines
3.1 Sectio 8.3 de "Designatione Fabricae Mundi Factory Codicis" praescripta sequentia pro nexus pipelines cavet:
(1) Fistulae nexus conflari debent, at fistulae ferreae calvanizatae calidae intingere debent stamineae. Materia nexa nexibus obsignatio parebit requisitis articuli 8.3.3 huius specificationis.
(2) Fistulae ferreae immaculatae ab argonis arcu glutino et tibus glutino vel nervum glutino iungi debent, sed summus puritas gasi pipelineorum per tibus glutino sine notis in pariete interiore iungi debet.
(3) Connexio inter pipelines et apparatum necessitatum instrumentorum parere debet. Cum caligarum nexus utendi, metallica exercituum utendum est.
(4) Connexio inter pipelines et valvulas quae sequuntur observare debent
Sigillum materiale connectens altum puritatis gasorum fistularum et valvularum uti debent gaskets metallicis vel ferruleis duplicibus secundum exigentias processus productionis et notarum gasi.
Signandi materia ad nexum lina vel flangium esse debet polytetrafluoroethylene.
3.2 Secundum exigentias specificationum et mensuras technicas pertinentes, nexus fistularum altae puritatis gasi quam maxime iuncta est. Directa petat glutino vitanda in welding. Fistula manicatis vel articulis confectis utendum est. Tibia manicas faciendas ejusdem materiae et superficiei internae lenitatem quam tibiae. planities, in glutino, ut oxidatio partium glutino impediatur, gasi tutelae purae in fistulam glutino introducantur. Ad fistulas ferreas immaculatas, argon arcus glutino utendum, et argon gas eiusdem puritatis in tibiam introduci. Connexio sequela seu nexus staminea utendum est. Cum flanges connectens, ferrules pro nexibus stamineis utendum est. Exceptis fistulis oxygenii et tibiis hydrogenii, quibus gaskets metallica uti debent, aliae fistulae gaskets polytetrafluoroethylene utantur. Applicatio parvae siliconis rubber gaskets adhibendo efficax erit. Augere signandi effectum. Similia consilia capienda sunt cum coniunctiones LABIUM fiunt.
Ante institutionem operis incipit, inspectio accurata tibiarum visualium;caerimoniasvalvulae, etc., peragendae. Murus interior ordinarius tibiae ferreae immaculatae ante institutionem condiri debet. Tibiae, caerimoniae, valvulae, etc. fistularum oxygenii stricte prohibeantur ab oleo, et stricte minuantur secundum exigentias ante institutionem pertinentes.
Antequam systema inauguratur et in usum ponatur, tradenda et distributio systematis pipelini omnino purgandum est cum gas-a summo puritate traditis. Hoc non solum particulas pulveris, quae in processu institutionis in systemate casu inciderunt, non solum exspirat, sed etiam munus in systematis pipeline desiccat, removendo partem gasi umoris continentis muro fistulae absorpto et etiam in materia organi.
4. Pipeline pressura test et acceptatio
(1) Postquam systema inauguratum est, 100% inspectio radiographica fistularum quae maxime humores toxicos in specialibus organis gasorum exercendis transportant, earum qualitas non minor quam Level II. Aliae fistulae subiicientur inspectioni radiographicae sampling, et ratio inspectionis non minor quam 5% erit, qualitas gradu III non minor.
(2) Post inspectionem non perniciosam transiens, test pressionis facienda est. Ad siccitatem et munditiam fistulae curandam, pressionis hydraulica experimentum non peragendum est, sed pressionis pneumatica probatio adhibenda est. Aer pressionis test exerceri debet utendo nitrogenio vel aere compresso qui munditiae gradui cubiculi mundi compositus est. Pressio test pipelini debet esse 1.15 temporibus pressionis designatio, et test pressura vacui pipelini debet esse 0.2MPa. Per experimentum paulatim pressio paulatim et paulatim augetur. Cum pressio ad 50 pressionis testium oritur, si nulla deprauatio vel lacus invenitur, gradatim pressionis 10% testi pressionis augere pergunt ac pressionem per 3 minuta singula in gradu stabiliunt usque ad pressionem experimenti . Stabilire pressionem pro X minuta, pressionis minuere ad pressionis consilium. Pressura stop tempus secundum necessitates detectionis Leak determinari debet. Nullam dictum id nisi vel ultrices.
(3) Postquam systema vacuum pressionis experimentum transit, etiam spatium vacuum 24 horarum gradus secundum documenta designat, et pressurizationem rate maior quam 5% examinare debet.
(4) ultrices test. Pro ppb et ppt gradus pipelines systemata, secundum determinationes pertinentes, nulla lacus considerari debet ut idoneus, sed experimentum lacus quantitatis adhibitum est in consilio, hoc est, quanti testi lacus efficietur post emissionem aeris experimentum. Pressio est pressio laborantis et pressio per 24 horas intercluditur. Mediocris lacus horae est minus quam vel 50ppm ut habilis. Calculi calculi talis est:
A=(1-P2T1/P1T2)*100/T
In formula:
A-hora lacus (%)
P1-absolutum pressura in initio test (Pa)
P2-absolutum pressura in fine test (Pa)
T1 absoluta temperatus in initio test (K)
T2 absoluta temperatus in fine test (K)
Post tempus: Dec-12-2023