Officina Circuituum Integratorum Magnae Scalae Proiecti 909 est magnum opus constructionis industriae electronicae patriae meae per Nonum Quinquennium ad producendas laminas linearum 0.18 micronum et diametro 200 mm.
Technologia fabricationis circuitum integratorum amplissimae scalae non solum technologias altae praecisionis sicut micro-machinationem implicat, sed etiam altas normas in puritate gasorum imponit.
Magna copia gasis pro Proiecto 909 praebetur per societatem coniunctam inter Praxair Utility Gas Co., Ltd. Civitatum Foederatarum et partes pertinentes Shanghaienses ad officinam productionis gasis communiter constituendam. Officina productionis gasis iuxta aedificium officinae proiecti 909 sita est, aream circiter 15,000 metrorum quadratorum tegens. Puritas et requisita productionis variorum gasorum...
Nitrogenium (PN₂), nitrogenium (N₂), et oxygenium (PO₂) altae puritatis per separationem aeris producuntur. Hydrogenium (PH₂) altae puritatis per electrolysin producitur. Argon (Ar) et helium (He) extra domum emuntur. Quasi-gas purificatur et filtratur ad usum in Proiecto 909. Gas speciale in ampullis suppeditatur, et armarium ampullarum gasis in officina auxiliari fabricae productionis circuituum integratorum situm est.
Alia gasia etiam includunt systema CDA aeris compressi puri et sicci, cum volumine usus 4185m3/h, puncto roris sub pressione -70°C, et magnitudine particularum in gaso ad punctum usus non maiori quam 0.01um. Systema aeris compressi respirabilis (BA), volumen usus 90m3/h, puncto roris sub pressione 2℃, magnitudine particularum in gaso ad punctum usus non maiori quam 0.3um; systema vacui processus (PV), volumen usus 582m3/h, gradu vacui ad punctum usus -79993Pa. Systema vacui purgationis (HV), volumen usus 1440m3/h, gradu vacui ad punctum usus -59995 Pa. Cubiculum compressoris aeris et cubiculum antliae vacui ambo in area fabricae projecti 909 sita sunt.
Selectio materiarum et accessionum tuborum
Gas in productione VLSI adhibitum requisita puritatis altissima habet.Gasoductus altae puritatisSolent in ambitu productionis puro adhiberi, et earum munditiae moderatio cum gradu munditiae spatii in usu congruere vel altior esse debet! Praeterea, fistulae gasis altae puritatis saepe in ambitu productionis puro adhibentur. Hydrogenium purum (PH2), oxygenium altae puritatis (PO2), et quaedam gasa specialia sunt inflammabilia, explosiva, combustionem sustinentia, vel toxica. Si systema fistularum gasis improprie designatur vel materiae improprie selectae sunt, non solum puritas gasis in puncto gasis adhibiti minuetur, sed etiam deficiet. Requisitis processus satisfacit, sed usus non est tutus et pollutionem officinae purae inferet, salutem et munditiam officinae purae afficiens.
Qualitas gasis altae puritatis in loco usus non solum ex accuratione productionis gasis, apparatuum purificationis et filtrorum pendet, sed etiam magnopere a multis factoribus in systemate fistularum afficitur. Si apparatu productionis gasis, apparatu purificationis et filtris confidimus, simpliciter iniustum est requisita praecisionis infinitamente altiora imponere ad compensandum impropriam designationem systematis fistularum gasis vel delectum materiae.
Per designationem propositi 909, "Codicem ad Designandum Stationes Mundas" GBJ73-84 (norma hodierna est (GB50073-2001)), "Codicem ad Designandum Stationes Aeris Compressi" GBJ29-90, "Codicem ad Designandum Stationes Oxygenii" GB50030-91, "Codicem ad Designandum Stationes Hydrogenii et Oxygenii" GB50177-93, et mensuras technicas pertinentes ad delectum materiarum et accessionum fistularum secuti sumus. "Codex ad Designandum Stationes Mundas" delectum materiarum fistularum et valvarum sic stipulat:
(1) Si puritas gasis maior quam vel aequalis 99.999% est et punctum roris inferius quam -76°C, tubus chalybis inoxidabilis 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) cum pariete interno electropolito vel tubus chalybis inoxidabilis OCr18Ni9 (304) cum pariete interno electropolito adhibendus est. Valvula diaphragmatis vel valvulae follis esse debet.
(2) Si puritas gasis maior quam vel aequalis 99.99% est et punctum roris inferius quam -60°C, tubus chalybis inoxidabilis OCr18Ni9 (304) cum pariete interno electropolito adhibendus est. Exceptis valvis follibus quae pro canalibus gasis combustibilibus adhibendae sunt, valvae sphaericae pro aliis canalibus gasis adhibendae sunt.
(3) Si punctum roris aeris compressi sicci inferius est quam -70°C, tubus chalybis inoxidabilis OCr18Ni9 (304) cum pariete interno polito adhibendus est. Si punctum roris inferius est quam -40℃, tubus chalybis inoxidabilis OCr18Ni9 (304) vel tubus chalybis sine suturis galvanizatus per immersionem calidam adhibendus est. Valvula vel valvula follis vel valvula sphaerica esse debet.
(4) Materia valvae cum materia tubi connectivi congruere debet.
Secundum requisita specificationum et mensuras technicas pertinentes, haec praecipue consideramus cum materias fistularum eligimus:
(1) Permeabilitas aeris materiarum tuborum parva esse debet. Tubi ex diversis materiis permeabilitatem aeris differentem habent. Si tubi cum maiori permeabilitate aeris eliguntur, pollutio removeri non potest. Tubi ex chalybe inoxidabili et tubi aenei penetrationem et corrosionem oxygenii in atmosphaera melius prohibent. Attamen, cum tubi ex chalybe inoxidabili minus activi sint quam tubi aenei, tubi aenei activiores sunt in permittendo ut humor ex atmosphaera in superficies internas penetret. Ergo, cum tubi pro canalibus gasii altae puritatis eliguntur, tubi ex chalybe inoxidabili prima electio esse debent.
(2) Superficies interna materiae tubi adsorpta est et parvum effectum in analysi gasis habet. Postquam tubus chalybis inoxidabilis tractatus est, certa quantitas gasis in eius cancello metallico retinebitur. Cum gas altae puritatis transit, haec pars gasis in fluxum aeris ingredietur et pollutionem causabit. Simul, propter adsorptionem et analysin, metallum in superficie interna tubi etiam certam pulveris quantitatem producet, pollutionem gasis altae puritatis causans. Pro systematibus tubi cum puritate supra 99.999% vel gradum ppb, tubus chalybis inoxidabilis 00Cr17Ni12Mo2Ti humilis carbonis (316L) adhibendus est.
(3) Tuborum chalybis inoxidabilis resistentia attritioni melior est quam tuborum cupreorum, et pulvis metallicus ab erosione fluxus aeris generatus relative minor est. Officinae productionis cum altioribus requisitis munditiae tubos chalybis inoxidabilis 00Cr17Ni12Mo2Ti cum humili carbone (316L) vel tubos chalybis inoxidabilis OCr18Ni9 (304) uti possunt, tubi cuprei non adhibendi sunt.
(4) Pro systematibus fistularum cum puritate gasis supra 99.999% vel gradus ppb vel ppt, vel in conclavibus mundis cum gradibus puritatis aeris N1-N6 in "Codice Designandi Fabricae Mundae" specificatis, fistulae ultra-mundae vel...Tubi EP ultra-mundiadhiberi debet. Munda "tubus mundus cum superficie interna ultra-laevigata".
(5) Quaedam ex systematibus gasiduum specialium in processu productionis adhibitis gases valde corrosivos sunt. Tubi in his systematibus fistularum tubos chalybis inoxidabilis corrosioni resistentes uti debent. Alioquin, tubi propter corrosionem laedentur. Si maculae corrosionis in superficie appareant, tubi chalybis ordinarii sine suturis vel tubi chalybis galvanizati sudati non adhibendi sunt.
(6) In principio, omnes nexus fistularum gasi conglutinari debent. Cum conglutinatio tuborum chalybis galvanizati stratum galvanizatum destruat, tubi chalybis galvanizati in tubis in conclavibus mundis non adhibentur.
His rebus consideratis, fistulae et valvulae gasi in proiecto &7& selectae sunt hae:
Tubi systematis nitrogenii altae puritatis (PN2) ex tubis chalybis inoxidabilis 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) cum parietibus internis electropolitis fiunt, et valvae ex valvis follibus chalybis inoxidabilis eiusdem materiae.
Tubi systematis nitrogenii (N2) ex tubis chalybis inoxidabilis 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) cum parietibus internis electropolitis fiunt, valvae autem ex valvis follibus chalybis inoxidabilis eiusdem materiae.
Tubi systematis hydrogenii altae puritatis (PH2) ex tubis chalybis inoxidabilis 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) cum parietibus internis electropolitis fiunt, et valvae ex valvis follibus chalybis inoxidabilis eiusdem materiae.
Tubi systematis oxygenii (PO2) altae puritatis e tubis chalybis inoxidabilis 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) cum parietibus internis electropolitis fiunt, et valvae ex valvis follibus chalybis inoxidabilis eiusdem materiae.
Tubi systematis Argon (Ar) ex tubis chalybis inoxidabilis 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) cum parietibus internis electropolitis fiunt, et valvae folles chalybis inoxidabilis ex eadem materia adhibentur.
Tubi systematis helii (He) ex tubis chalybis inoxidabilis 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) cum parietibus internis electropolitis fiunt, valvae autem ex valvis follibus chalybis inoxidabilis eiusdem materiae.
Tubi systematis aeris compressi sicci et mundi (CDA) ex tubis chalybis inoxidabilis OCr18Ni9 (304) cum parietibus internis politis fiunt, valvae autem ex valvis follibus chalybis inoxidabilis eiusdem materiae.
Tubi systematis aeris compressi spirandi (BA) ex tubis chalybis inoxidabilis OCr18Ni9 (304) cum parietibus internis politis fiunt, valvae autem ex valvis sphaericis chalybis inoxidabilis eiusdem materiae.
Tubi systematis vacui processus (PV) ex tubis UPVC fiunt, valvae autem ex valvis papilionis vacui ex eadem materia factis.
Tubi systematis purgationis vacui (HV) ex tubis UPVC fiunt, valvulae autem ex valvis papilionis vacui ex eadem materia factis.
Tubi systematis gasi specialis omnes ex tubis chalybis inoxidabilis 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) cum parietibus internis electropolitis fiunt, et valvae ex valvis follibus chalybis inoxidabilis eiusdem materiae.
3 Constructio et installatio fistularum
3.1 Sectio 8.3 "Codicis Designandi Aedificia Fabricae Mundae" sequentes provisiones pro nexibus fistularum praescribit:
(1) Nexus tuborum suturandos esse debent, sed tubi chalybei galvanizati per immersionem calidam filis instructi esse debent. Materia obturans nexuum filis instructorum requisitis Articuli 8.3.3 huius specificationis satisfacere debet.
(2) Tubi chalybis inoxidabilis per arcum argonianum et per suduram frontalem vel per suduram involucri coniungendi sunt, sed fistulae gasi altae puritatis per suduram frontalem sine notis in pariete interiore coniungendae sunt.
(3) Nexus inter fistulas et apparatum requisitis connexionis apparatus congruere debet. Cum nexus tuborum adhibentur, tuborum metallicorum adhibenda sunt.
(4) Nexus inter fistulas et valvas his regulis obtemperare debet.
① Materia obturans quae fistulas gasi altae puritatis et valvas iungit, secundum requisita processus productionis et proprietates gasi, obturamenta metallica vel ferrula duplicia adhiberi debet.
② Materia obturans ad nexum filetatum vel flangis polytetrafluoroethylenum esse debet.
3.2 Secundum requisita specificationum et mensuras technicas pertinentes, nexus fistularum gasi altae puritatis, quantum fieri potest, suturandus est. Sutura directa inter funes vitanda est dum suuntur. Manicae fistularum vel iuncturae perfectae adhibendae sunt. Manicae fistularum ex eadem materia et superficie interna laevitate ac fistulae fieri debent. Aequaliter, dum suuntur, ne partis suendae oxidatur, gas purus protector in fistulam sudendam introducendus est. Pro fistulis chalybis inoxidabilis, sutura arcu argonica adhibenda est, et gas argonica eiusdem puritatis in fistulam introducenda est. Nexus filetatus vel nexus filetatus adhibendus est. Cum flanges connectuntur, ferrulae pro nexibus filetatis adhibendae sunt. Exceptis fistulis oxygenii et fistulis hydrogenii, quae obturamenta metallica uti debent, alii fistulae obturamenta polytetrafluoroaethyleni uti debent. Applicatio parvae quantitatis gummi siliconici ad obturamenta etiam efficax erit. Effectum obturationis augendum. Similes mensurae adhibendae sunt cum nexus flanges fiunt.
Antequam opus institutionis incipiat, inspectio visualis accurata tuborum,aptationes, valvae, etc. peragendae sunt. Paries interior tuborum communium chalybis inoxidabilis ante installationem decapandus est. Tubi, iuncturae, valvae, etc. tuborum oxygenii ab oleo stricte prohibendi sunt, et secundum requisita pertinentia ante installationem stricte deadiungendi sunt.
Antequam systema instituatur et in usum detur, systema fistularum transmissionis et distributionis gaso purissimo advecto penitus purgandum est. Hoc non solum particulas pulveris quae casu in systema durante institutione ceciderunt, dispellet, sed etiam munus exsiccandi in systemate fistularum agit, partem gasi humidi a pariete tubi et etiam a materia tubi absorpti removens.
4. Examen pressionis fistulae et acceptio
(1) Postquam systema institutum est, inspectio radiographica 100% tuborum fluida valde toxica in canalibus gasi specialibus transportantium peragenda est, et qualitas earum non inferior quam Gradus II erit. Alii tubi inspectioni radiographicae per exemplaria subiicientur, et proportio inspectionis per exemplaria non minor quam 5% erit, qualitas non inferior quam gradus III erit.
(2) Post inspectionem non destructivam superatam, probatio pressionis peragenda est. Ut siccitas et munditia systematis tuborum confirmentur, probatio pressionis hydraulicae non peragenda est, sed probatio pressionis pneumaticae adhibenda est. Probatio pressionis aeris nitrogenio vel aere compresso, qui gradui munditiae camerae purae respondeat, peragenda est. Pressio probationis tubi 1.15 vicibus maior quam pressione designata esse debet, et pressio probationis tubi vacui 0.2MPa esse debet. Per probationem, pressio gradatim et lente augenda est. Cum pressio ad 50% pressionis probationis ascendit, si nulla anomalia aut effusio invenitur, pressionem gradatim augere per 10% pressionis probationis perge, et pressionem per 3 minuta in unoquoque gradu stabiliza donec pressio probationis attingatur. Pressio per 10 minuta stabiliza, deinde pressionem ad pressionem designatam reduce. Tempus cessationis pressionis secundum necessitates detectionis effusionis determinandum est. Spuma idonea est si nulla effusio est.
(3) Postquam systema vacui probationem pressionis superaverit, etiam probationem graduum vacui 24 horarum secundum documenta designationis peragere debet, et ratio pressurizationis non maior quam 5% esse debet.
(4) Examen effusionis. Pro systematibus fistularum graduum ppb et ppt, secundum specificationes pertinentes, nulla effusio pro qualificata habenda est, sed examen quantitatis effusionis in designatione adhibetur, id est, examen quantitatis effusionis post examen firmitatis aeris perficitur. Pressio est pressio operandi, et pressio per 24 horas sistat. Effusio media horaria minor vel aequalis est 50ppm pro qualificata. Computatio effusionis est haec:
A = (1 - P₁T₁/P₁T₂) * 100/T
In formula:
Effusio horae unius (%)
P1 - Pressio absoluta initio probationis (Pa)
P2 - Pressio absoluta in fine probationis (Pa)
T1 - temperatura absoluta initio probationis (K)
T2 - temperatura absoluta in fine probationis (K)
Tempus publicationis: XII Decembris MMXXIII